射频(RF)微晶P高速率高晶化率镀膜，
，
，大产能异质结PECVD提效降本之路

      近日，，，，数信常州HJT中试线成功研发出具有行业先进水平的射频(RF)微晶P工艺，，，，微晶P薄膜沉积速率超过2埃/秒
，，，同时晶化率稳定在50%以上。。常州中试线制备的基于双面微晶的12BB异质结电池平均效率达到25.1%（德国ISFH（哈梅林）标准），，，电池良品率稳定在98%以上
。。
。。

      射频(RF)微晶P的高速高质量沉积，，，，一直是困扰异质结大产能板式PECVD的技术难点，，通过本次技术突破，，，数信的大产能射频板式PECVD预计将比市面上主流设备减少1-2个微晶P腔体。
。射频(RF)微晶P设备工艺均匀性达到6%以内，，，，稳定性和重复性均在中试线量产设备上得到充分验证，，达到行业先进技术水平。。。

     一直以来，
，，，数信在积极推进HJT的产业化发展。。。。公司在湿法设备
、、、、PECVD/CAT-CVD、、
、、PVD/RPD/PAR、
、、、丝网印刷/铜电镀/新型组件焊接设备方面进行深入研究
，，，，具备HJT电池整线交钥匙工程的能力。。。。公司近期已中标全球头部光伏企业量产型HJT整线订单，，标志着公司在HJT全路线装备和工艺技术上取得突破，，，获得市场及客户认可
。。。。

      此次射频(RF)微晶P高速率高晶化率工艺取得突破，
，进一步增强了公司在HJT设备领域的竞争优势。。。数信始终坚持实干与创新为一体，，，坚持“逢山开路，，遇河架桥”的创新精神，，，积极改革设备技术、、、持续扩大研发范围
，，
，为光伏行业的稳定发展注入生生不息的源动能。
。