管式等离子体多晶硅淀积炉

  技术特点  Features  

· 隧穿氧化层、、、、i-poly、、、D-poly 三合一同管完成，，，，减少工艺环节，，有效提升良率、、
、、降低碎片率。。。。

· 无热壁特性，，，，石英管使用寿命长。。。

· 绕镀轻微，，，，易去除。。。。

· 精准掺杂、
、、可引入其它提效掺杂元素，，，，工艺拓展、
、提效空间大。。。
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· 防导通专利技术
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