槽式RCA清洗设备

  技术特点  Features  

· 产能
：400片/批
，，，，9600片/小时（210硅片）,480片/批
，，
，12000片/小时（182硅片）。。。。

· 支持多种添加剂技术
。。。。

· 支持最薄120μm硅片。
。

· 洁净区域干燥，，，，自洁净系统。
。。。

· 快速换液，，，在线换液。。。

· 支持MES、、
、、RFID及选配在线称重功能。。
。