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    光注入退火炉

      技术特点  Features  

    · 双轨产线,,,机架电气完全独立,,,,互不干扰。。。。

    · 大产能:匹配丝印工序产能,,,,CT≤0.80秒,,,,基于硅片尺寸M10(18X±0.5mm*18X±0.5mm)。。。

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