空间型原子层镀膜设备(ALD)

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    空间型原子层镀膜设备(ALD)

      技术特点  Features  

    · 双源管路设计,,,,快捷切换;

    · 精确控制原子级薄膜镀膜;

    · 布气板模块化设计,,,,维护便捷。。。



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