单面卷绕溅射镀膜机（三腔）

  技术特点 Features  

· 镀膜腔可拓展，，实现多种工艺，，
，高速沉积；

· 采用等离子表面处理，，，，有效提高膜层的结合力；

· 多腔溅射工艺室，
，提高生产效率；

· 配置多组隔离溅射腔，，可以实现多种材料沉积；

· 可定制幅宽300~1650 mm；

· 实现在线光学检测，，在线方阻检测；

· 全自动卷绕控制系统，，，
，纠偏系统。。。。