光学连续式镀膜设备

  技术特点 Features  

· 采用等离子和石墨靶预处理装置，，有效提高膜层的结合力；

· 双溅射工艺腔室
，，单腔镀膜时间减半，
，，更短生产节拍；

· 配置多组溅射靶，，，，可以实现多材料高效率沉积；

· 多蒸发舟间距无级可调，，，ES距离可微调，
，，注射泵精准控制补液计量，，，保证产品抗油污性能；

· 大直径镀膜鼓设计，，
，定制化挂板方案，，，有效提高产能；

· 自动化控制上下板过程，，，门阀、、、、轨道安全检测，，，保证操作安全性。。。。