管式等离子体多晶硅淀积炉

  技术特点  Features  

· 隧穿氧化层、
、i-poly、、、D-poly 三合一同管完成，，减少工艺环节
，，，，有效提升良率、、、、降低碎片率
。。。

· 无热壁特性，，石英管使用寿命长。
。。。

· 绕镀轻微，，，易去除。。。。

· 精准掺杂
、
、、、可引入其它提效掺杂元素
，，
，，工艺拓展
、、、
、提效空间大。。。

· 防导通专利技术。
。。