单晶槽式制绒设备

  技术特点  Features  

· 产能：600片/批，
，14400片/小时（210 硅片）；720片/批，，17280片/小时（182硅片）。
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· 工艺槽循环量可调
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· 制绒金字塔均匀，，，刻蚀深度可调
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· 支持最薄120μm 硅片。。

· 洁净干燥区域，，自洁净干燥系统。。
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· 低H₂O₂ 消耗。。

· 快速换液，，，，在线换液。
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· 支持MES
、、、RFID 及选配在线称重功能
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