技术特点 Features
· 搭配膜渣收集系统,,,快速清理。。
· 退膜和蚀刻后具备检测窗口,,便于过程抽检。。
· 显影喷淋上下摆动模块,,提供清洗效率。。。
· 整机PP防火材料全包覆,,,提高设备的安全等级。。。
· 以IPC工控机配合PLC做过程控制,,,可执行自动或手动模式,,可搭配自动上下料机智能生产。。
· 自主软体设计,,,,人性化操作界面,,,即时的生产&机台运转资讯,,,,Recipe编辑功能,,完善的Log记录功能,,模块化软体设计,,,满足客户定制化要求。。