光罩清洗设备

  技术特点 Features  

· 正面Force down Brush
、、、、rinse
，，，背面pellical氮气保护。。
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· PA adder, 0.3µm ≤10ea，，，
，适用天车料盒
、、、、运输料盒。
。。

· 100%部件本土化，，，本地软件团队，，有独立的设计和专利
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