无篮式湿法设备

  技术特点 Features  

· PR stripper，，
，Nit Stripper,，，
，Pre-Clean，，，B-Clean，，Metal etching，，，Recycle，，
，，Post CMP clean, EKC stripper，
，，Post Ash Polymer Removal .

· PA adder, 0.16um <10ea u% <3% 氧化物刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.