管式低压硼扩散炉

  技术特点  Features   

· 成熟BBr₃液态源、、、BCL₃气态源控制与输送技术。
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· 配套相关专利技术。。。。

· 独特双嵌套炉门结构。
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· 高速平稳整体模组推舟机构。。。。

· 智能化全自动控制。。。。

· 自主知识产权MES软件。。。。

· 匹配S.C智能化生产管理系统。。。。